Current location: HOME
/Introduction/Composite Heater

                                     • Product Features

                                     High purity (>99.999%)

                                     Chemically inert

                                     Low outgassing rate

                                     Minimal thermal expansion at high temperatures

                                     Excellent temperature uniformity

                                     Rapid heating and cooling capability

                                     Customizable shapes

                                     Maximum operating temperature up to 1600°C (in vacuum)


                                     • Application Areas

                                     Substrate heating in sputtering and CVD processes

                                     Sample heating for electron microscopy

                                     Nozzle heaters for gas heating

                                     Evaporation heating for metal sources


                                       Key Performance Parameters


Shape

Dimensions

Thickness/Height   mm

Resistance   Ω

Disc

0.5"-15"

Max   4.0

5-35

Cylindrical

1"-12"

Max   400

3-25