•产品特点
                                        高纯度（>99.999%）
                                        化学惰性
                                        低放气率
                                        高温下热膨胀小
                                        温度均匀性优越
                                        可急速升降温
                                        形状可定制
                                        最高使用温度可达1600℃（真空）

                                        •产品特点
                                        溅射镀膜、CVD领域的基板加热
                                        电子显微镜试样加热
                                        气体加热的喷嘴加热器
                                        金属源蒸发加热

                                        •主要性能参数

形状	尺寸	厚度/高度（mm）	电阻（Ω）
盘形	0.5"-15"	Max 4.0	5-35
筒形	1"-12"	Max 400	3-25